技术编号:6895422
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。特别是,本发明涉及提供 有脊部分的。背景技术化合物半导体激光器芯片通常提供有条形(长、窄)脊部分作为波导结 构。该脊部分通过蚀刻由层叠在基板上的多个半导体层组成的半导体元件层 形成。在此情况下,蚀刻深度影响光波导中在水平侧向上对光的限制,并且因 此,在用于形成脊部分的蚀刻中,强烈地要求蚀刻可控性的精确度。应当注 意的是,如果用于形成脊部分的蚀刻可控性很低,并且因此在脊部分的侧面 从蚀刻底面到有源层的距离变化,则在脊部分侧面的水平侧向上光的限制效...
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