技术编号：6895969
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种微细加工的方法，具体地说，是一种利用等离 子反应的。 背景技术氮化铝薄膜在微电子技术、微系统技术、传感器技术中具有广泛的应用或潜 在的应用前景。氮化铝具有优良的压电性能和化学稳定性，是很多压电微传感器、 执行器的优选压电材料。氮化铝的纵声波传播速度比氧化锌高近一倍，以氮化铝 薄膜制作的电声换能器在吉赫兹频段具有优异的性能。氮化铝材料耐高温、绝缘 性好，使得以氮化铝薄膜制作的大功率器件性能可靠。以氮化铝电声换能器为基 础构成的微波滤波器在下...
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