技术编号：6896250
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及，尤其涉及使形成于其上设立了像素区和驱动区的基片上的非晶硅薄膜变成具有优良的膜性质的多晶硅薄膜的方法。背景技术 液晶显示板已被广泛用作各类电子设备的显示装置。作为这种液晶平板，有源矩阵形式的液晶平板已被应用，其中通过接通和切断形成在显示区中的每个像素上的开关元件来实现像素的切换。在上述有源矩阵形式的液晶显示器中，在沟道部分采用非晶硅薄膜的薄膜晶体管(TFT)已被用作像素区的开关元件。这是因为非晶硅薄膜可以好的膜性质均匀地形成在一个大的区域上。在沟...
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