技术编号:6896426
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。半导皿光器的库隨方法狱领域本发明涉及半导^光器的制造方法。 背景M在半导,光器的制造工艺中,用划线标记对晶片进行标记,通过施加适当的力将晶片劈开分割成多个条。但是,对于由GaN构成的晶片,因为GaN 具有高的稳定性,所以难以利用劈开进行加工。针对这个问题,专利文献1中记载了形成劈开辅助区域层,并沿着该层的 切痕进行劈开的方法。另外,在专利文献2中记载了,以二者的中心轴一致并 且以连续的状态形成从晶片的端部到中央部延伸的主导槽和比主导槽宽度窄的 副导槽,并在...
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