技术编号：6896799
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于控制液位的方法，更具体地说，该方法可被用于控制盛装于具有自由表面的筒和/或在压力下的罐中的液体液位，例如在半导体制造系统中存在的液体的液位。本发明还涉及一种用于实现上述方法的设备。已知的用于控制液位的设备包括一个控制装置，该控制装置布置有一个压力传感器，该压力传感器与浸没在被控制液体中的一个测量管相连。将压力传感器所测量到的值除以液体的密度值或液体的比重来确定液体的液位。但是，由于由压力传感器所测量到的值受到当地压力的影响，例如受到大气压...
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