GaN基日盲型紫外探测器面阵及其制作方法技术资料下载

技术编号:6897733

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本发明属于半导体器件,特别是指一种GaN基日盲型紫外探 测器面阵及其制作方法。背景技术紫外探测技术在军事和民用等方面都有着广泛的应用。军事上,在导 弹预警、飞行器制导、秘密通信、生化武器探测等领域中都有着重要的应 用价值;民用上,在明火探测、生物医药分析、臭氧监测、海上油监、太 阳照度监测、公安侦察等方面都有着紫外探测器的需求。特别是当响应波 段处于200 280nm时,由于臭氧层强烈的吸收作用,使得该波段的紫外线 不能到达地面,从而形成"日盲区(也称为太...
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