技术编号:6897733
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体器件,特别是指一种GaN基日盲型紫外探 测器面阵及其制作方法。背景技术紫外探测技术在军事和民用等方面都有着广泛的应用。军事上,在导 弹预警、飞行器制导、秘密通信、生化武器探测等领域中都有着重要的应 用价值;民用上,在明火探测、生物医药分析、臭氧监测、海上油监、太 阳照度监测、公安侦察等方面都有着紫外探测器的需求。特别是当响应波 段处于200 280nm时,由于臭氧层强烈的吸收作用,使得该波段的紫外线 不能到达地面,从而形成"日盲区(也称为太...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。