技术编号:6898250
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压电体膜的制造方法、压电体元件和喷墨式记录头。背景技术 压电体元件由强介电性或常介电性的结晶化的压电性陶瓷构成。压电性陶瓷的组成一般是以钛酸锆酸铅(以下称为“PZT”)为主成分的二成分系、或在该二成分系的PZT中再加入第三成分的三成分系陶瓷。使用二成分系PZT的强电介质记载在Applied Physics Letters1991.vol58 No11 pp1161-1163中。作为这些金属氧化物型的电介质薄膜的制法,例如可以举出溅镀法、MOCVD...
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