技术编号:6899515
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种防电弧保护装置以及组装方法,且特别是关于一种装设 在等离子体反应室的室壁上的防电弧保护装置及其组装方法。背景技术随着现代视讯技术的进步,液晶显示器已被大量地使用于手机、笔记本 电脑、个人电脑及个人数位助理等消费性电子产品的显示荧幕上。然而,在 制作液晶显示器所使用的半导体制程中,随着产品高解析度的需求,线宽尺寸(Dimension)愈来愈小,使得蚀刻(Etch)或间隙填充(Gap Filling)的高宽比 (Aspect Ratio)愈来愈大...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。