技术编号：6899975
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基底蚀刻设备和一种防沉淀方法，更具体地说，涉及一 种具有沉淀防止部分的大面积基底蚀刻设备以及一种能够防止从湿蚀刻基底 的蚀刻设备发生沉淀的防沉淀方法。背景技术通常，制造用于制造平板显示面板的基底的过程包括这样的步骤在基 底上沉积材料层；蚀刻所述材料层；清洁整个基底。通过反复地执行上述步 骤来制造基底。上述步骤之一的蚀刻工艺可分为湿蚀刻工艺或千蚀刻工艺。湿蚀刻工艺是利用化学溶液将目标蚀刻为期望的形状的工艺，化学溶液 与将被蚀刻的目标的层发生化学...
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