技术编号:6900046
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种SSOI基板的制造方法,更具体的说,是一种用来为提高装置的性能而提供的表面的微细粗糙度良好的基板,且通过低温加热处理也可以分离接合基板的SSOI ( Strained Silicon On Insulator)基板的制造方法。 背景技术T.A. Langdo在固体电子学(Solid-state electronics ) 48 (2004)中发表过题 目为"SSOI技术从物质到装置(Strained Si on insulator tech...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。