技术编号:6900285
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体集成电路,尤其涉及一种利用现有的微米级 Si集成电路制造工艺,制造纳米级Si集成电路的方法。 背景技术电子信息技术是国民经济的核心技术,它服务于国民经济各个领域,微电 子技术是电子信息技术的关键,集成电路更是关键中的关键。集成电路自1958 年问世以来,发展速度惊人,成为了信息科学技术的核心和国民经济发展、国 防建设的基石,对世界政治、经济和文化产生了巨大的影响。作为人类历史上 发展最快、影响最大、应用最广泛的技术,集成电路已成为衡量一个国...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。