技术编号：6900288
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体集成电路，尤其涉及一种利用现有的微米级 Si集成电路制造工艺，制造纳米级Si集成电路的方法。 背景技术信息产业是国民经济的支柱产业，它服务于国民经济各个领域，微电子技 术是信息产业的关键，集成电路更是关键中的关键。集成电路自1958年问世 以来，发展速度惊人，成为了信息科学技术的核心和国民经济发展、国防建设 的基石，对世界政治、经济和文化产生了巨大的影响。作为人类历史上发展最 快、影响最大、应用最广泛的技术，集成电路已成为衡量一个国家科学技...
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