技术编号：6900535
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提出了基于微电子机械系统(MEMS)技术的二选一微波开关，属 于微电子机械系统的技术范围。背景技术二选一微波开关广泛应用于T/R组件中的信号路由、相控阵天线中的开关 线型移相器和宽带调谐网络中。通常的做法是将PIN 二极管和MESFET管等固 态器件集成于二选一微波开关网络中来实现二选一微波功能。本发明提出利用 射频微机械开关设计一种新的MEMS 二选一微波开关，它既具有射频微机械(RF MEMS)开关插入损耗和回波损耗低、隔离度高、能量处理能力大、...
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