技术编号：6900988
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。背景技术目前常见的固态半导体装置，大致上有发光二极管(Light Emitting Diode， LED)、激光二极管(Laser Diode)或半导体射频等装置。一般而言，前述的发光二极管、激光 二极管或半导体射频装置，是由一外延衬底与一形成于外延衬底上的半导体元件(例如 射频元件，或是含有Pi接合的发光元件)所构成。 举例来说，基本的蓝光或绿光发光二极管结构，是由一蓝宝石(sapphire)衬底、 一形成于蓝宝石衬底上的缓冲层(buff...
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