技术编号:6902567
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明主要关于半导体制造,并且尤其涉及一种在制造工具系统中使用嵌入式工艺控制(embeded process control)的方法和装置。背景技术 制造工业的科技爆炸导致许多新的和创新的制造工艺。今日的制造工艺,特别是半导体制造工艺,需要很多重要的步骤。这些工艺的步骤通常是至关重要的,并且因此,需要许多通常经精确调谐(fine tuned)以维持适当制造控制的输入。半导体装置的制造需要许多不连续的工艺步骤以从半导体原材料制造封装半导体装置。这些不同的工艺...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。