技术编号：6902771
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种通过采用传送单元基于有效传送数据将衬底从第 一衬底保持器传送至第二衬底保持器的方法以及使其能够执行前述方法 的用计算机可执行代码编码的计算机可读介质。本发明还涉及一种用于 基于传送数据的传送衬底的传送系统、 一种包括该传送系统的光刻投影 设备、 一种采用该光刻投影设备制造器件的方法以及使其能够执行上述 器件制造方法的用计算机可执行代码编码的计算机可读介质。背景技术光刻设备是一种将所需图案应用到衬底上(通常到所述衬底的目标部分上)的机器。例如，...
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