技术编号:6903126
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施例一般涉及微机电系统(MEMS)开关,尤其涉及具有 双致动器和共栅极的MEMS微型开关。背景技术微机电系统(MEMS)是在微型密封封装中尺寸一般从微米到毫米的 机电装置。微型开关形式的MEMS装置具有可移动致动器,有时被称为 可移动电极,通过在可移动致动器下面的衬底上布置的栅极驱动器(也 被称为栅极或衬底电极)的影响向固定电接触移动。可移动致动器可以 是柔性梁,在所施加的诸如静电吸引、磁吸引和排斥、或者热致胀差之 类力作用下弯曲,使得梁的自由端...
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