技术编号:6903630
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领城本发明涉及一种由铁电多层膜组成的法布里一珀罗光学微腔技术,具体是指一种由钛酸锶钡(BST)布拉格反射膜层和均一相钛酸锶钡间隔层组成的光学微腔及其制备方法。皆景技术反射镜和光学微腔是光量子操控系统中不可破缺的重要器件。光学微腔因 具有量子电动力学效应而给新型光电子器件的研发带来了新的机遇,如利用微 腔的选频和对电磁场的放大作用,已成功制备了垂直腔面发射激光器、共振发 光二极管、探测器和光开关等器件。构建这些器件的常用材料大多是半导体、 无机氧化物或有...
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