技术编号:6903651
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体器件的制造领域,尤其涉及相变半导体器件的制造方法及相变半导体器件。 背景技术具有如锗(Ge)、硒(Se)、碲(Sb)、铋(Bi)等元素构成的合金型固态相变材料,逐 渐作为开关材料被用到半导体器件中。固态相变材料至少存在两种不同的固态状态。最极 端的两种状态能够被简单地分为非晶态和结晶态。在这两种状态之间还有其他更不容易辨 别的状态。非晶态具有无序的原子结构,而结晶状态通常是多晶。固态相变材料各种状态 具有完全不同的电学性质。在非晶态下,固态...
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