技术编号:6904403
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种通过对半导体晶片或者液晶显示装置用玻璃基板等(以 下仅称作"基板")照射光来加热该基板的热处理装置。背景技术以往,作为能够进行短时间退火的装置使用着如下的高速灯退火(lamp anneal)装置,其利用由卤素灯照射的光以每秒数百度左右的速度使半导体 晶片升温(例如专利文献1)。即使说是短时间退火,也是与使用了康塔尔 加热器(kanthal heater)等的电阻加热方式的热处理装置相比较而言的,其 退火时间大概为数秒左右。另一方面,作为能够以...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。