技术编号：6905035
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及液晶，尤其涉及一种薄膜晶体管(TFT)性能测试装 置及其制造方法和TFT性能测试方法。背景技术TFT的沟道特性的测试一直是比较困难的，现有技术中对于TFT的沟道 特性不做单独的测试与评价，通常是对TFT的整体性能进行测试。对于TFT 沟道部分，常采用扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,简称 SEM)获取TFT沟道照片。影响TFT性能的原因有多种，如果只对TFT性能做整体的测试，则不容 易发现制作工艺上的不足。...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。