技术编号:6905040
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及形成平坦化上表面的,尤其是涉及采 用一个掩膜板在两层薄膜上分别形成图形,同时还能形成平坦的上表面的薄 膜构造体的制造方法,属于微电子制造领域。本发明还涉及一种边缘电场型 液晶显示器阵列基板的制造方法。背景技术薄膜工艺广泛应用于微电子的制造。其一般工艺步骤为,在平坦的母材 上沉积金属层、绝缘层、半导体层等多种薄膜,通过光刻工艺形成图形,实 现其电路功能。所谓光刻工艺是通过预先设计的掩膜板通过曝光和显影在薄 膜上形成感光层(光刻胶),并通过蚀刻去掉没...
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