技术编号:6905671
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种四寸改三寸的晶片夹,特别涉及离子注入机中的三寸晶片在四寸晶片盒中和注入机械夹持靶上的晶片过渡装置,属于半导体器件制造领域。 背景技术集成电路制造技术的飞速发展,对各半导体工艺设备提出了更高的要求,作为半 导体离子掺杂工艺线的关键设备之一的离子注入机,一般注入机只对特定的尺寸来设计特 定的一整套靶室晶片传送装置和注入时晶片夹持装置,为了在同一机台上既有束流宽度足 够满足注入晶片尺寸要求下,改做小尺寸晶片的注入工艺时。往往至少需要更改晶片传送 机...
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