技术编号：6906063
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及超导薄膜的处理方法及装置，具体来说是超导薄膜布图布线方法及装置。技术背景2001年1月10日，日本青山学院秋光纯教授的研究小组发现了金属间化合物二硼化镁( MgB2)具有超导电性，超导转变温度高达39K， MgB2优异的超导特性使得人们不断去开拓这 种材料的制备方法和应用领域。制备超导薄膜的方法很多，如激光沉积、溅射、分子束外延、化学气相沉积(CVD)等， 特别是化学气相沉积方法原理简单，和传统微电子工艺兼容，制备的薄膜特性较好。贵州大 学傅兴华...
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