套印厚度补偿层的多层压电式微位移致动器的制作方法技术资料下载

技术编号:6909159

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本实用新型涉及一种对多层压电式微位移致动器的改进,以解决其共烧过 程中会产生裂纹的问题。背景技术多层压电式微位移致动器是一种公知技术,它由多层压电陶瓷(1)堆叠成 压电陶瓷堆,并且所述的压电陶瓷的每相邻两层之间均设置有一个内电极(2), 所述的压电陶瓷堆的侧面上设置有两条互不接触的并沿着该压电陶瓷堆的堆垛 高度方向延伸的外电极(3),相邻的两个内电极分别与不同的外电极相导通连 接,由此所述的多个内电极交替与一条外电极相导通连接,形成两组互不连通 的电极组,...
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