技术编号:6910458
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在以液晶显示器为代表的显示器、在以ULSI为代表的半导体器件、或类似产品中采用的互连。本发明涉及互连形成技术、包括互连结构的薄膜晶体管、以及包括互连或薄膜晶体管的显示器。背景技术近年来,作为用于在以LSIs和ULSIs为代表的半导体领域中采用的互连的材料,人们致力于铜(Cu)的研究,和由铝(Al)构成的常规互连相比铜提供了更低的互连电阻,并且铜对于电迁移、应力迁移等具有更高的容限。由于集成度的提高、工作速度的提高等原因,引起了更细颗粒结构的研制开...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。