技术编号：6910950
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属微电子机械领域，特别指压电驱动器。 背景技术压电驱动器已经有近百年的发展历史，它被广泛用于各类力、位 移、加速度、振动、冲击传感器和与之相应的致动器。基于压电驱动 原理设计制造的流体泵，称为压电泵。压电泵是压电驱动器的重要分 支。该类泵具有相当广泛的应用领域，在医疗、化学分析、航空航天 以及汽车发动机燃料供给等领域都有应用。常见的压电泵多为压电片 式，该形式的泵的优点是结构简单，制作成本低；由于压电片输出力 小、输出位移易受负载影响，故压电片式...
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