技术编号:6912225
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅材料的酸或碱处理的设备,尤其涉及一种用于硅材料 酸或碱处理设备中的喷淋防污染装置。背景技术在硅片、硅料与硅芯的处理中,由于涉及酸或碱处理工序,故需要把酸或碱 处理工作区与其它处理(水洗/干燥)工作区分开,以避免酸或碱对后处理工作区的污染。现有避免酸或石成对后处理工作区的污染的l故法有1、通过酸石威工 段的抽排风系统来避免酸碱气的漂移。这样做要求抽风效果要好,且抽风系 统必须连续工作。2、把设备分成两部分来做,酸洗做一台设备,碱洗做一台 设备...
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