技术编号：6912851
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明系有关于一种真空吸引装置(Vacuum Chuck)特别是关于一种可降低微粒污染的真空吸引装置。以下将配合附图说明图1、图2和图3对上述问题做详细的说明图1系显示真空吸引装置的侧视图，图2显示一种真空吸引装置的环绕型支撑盘的上视图，图3系为图2的切线11的部分剖面放大图。图3的标号21表示支撑盘12的高真空通道。支撑盘12的下方为旋转轴14，支撑盘12的高真空通道21穿过旋转轴14与管路16相连，而管路16的另一端则连接至真空系统18，并且在管路16...
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