技术编号:6913850
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种支撑平台,特别是关于一种具有俯仰功能的硅片盒平台。 背景技术目前用于半导体制造工艺设备中的硅片都必须放在一种特制的硅片盒中,每个硅片盒可放置25片硅片(国际标准),硅片盒放在工艺设备的平台上,由专用 的机械手从平台的硅片盒中取放硅片。目前国际上多用的有固定硅片盒平台和具 有俯仰功能的硅片盒平台等。具有俯仰功能的硅片盒平台是近年才出现的,它有 以下优点1、硅片盒平台可呈一定仰角放置,当操作员取放硅片盒时比较稳定, 盒中硅片不易滑出,可确保硅...
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