技术编号:6914149
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型为一种有关于料件取送预装(prdoad)机构;特别是指 一种应用于半导体制程中料件加工的传输过程改良,借由承料平台及 至少两移动平台的承料转换及取料区的预装(prdoad)置换动作,来达 到快速料件取送加工的目的,以有效达到改善半导体制程效率的料件 换料装机构。 背景技术目前一般习知的料件输送换料制程如在有些旧有设计其主要结 构包括利用一单一的n字形固定平台13来承载输送已加工或未加 工之料件11,并利用一可夹取取料区12料件11的可移动夹具10...
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