技术编号：6914409
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型有关于一种晶片抓取手臂的设计。 背景技术请参阅图l所示，为习用的吸取手臂吸取晶片的示意图，在目前习用的晶片90(或晶圆)的取放方式，多是利用 一个吸取手臂80伸入于叠置有复 数个晶片卯的卡匣中，当要取放晶片90时，驱动件70将驱动吸取手臂80 伸于叠置的晶片90间，再经由通气管60抽真空，使吸取手臂80前端形成 负压状态，此时晶片90便会吸附于吸取手臂80的前端上，再由驱动件70 将吸取手臂抽出并将晶片90转送到待加工区。而为了要使吸取手臂80前...
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