技术编号：6914621
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。背景技术1、发明的领域本发明涉及，包括利用半导体特性的半导体元件(如晶体管，特别是场效应晶体管；通常为金属氧化物半导体(MOS)晶体管和薄膜晶体管(TFT))的检测工艺。更具体地说，本发明涉及非接触型检测装置和使用该检测装置的检测方法。本发明还涉及包括这种半导体元件的检测工艺的。2、相关技术的说明在有源矩阵型液晶显示器和电致发光(EL)显示器中，TFT一般提供在每个象素中。在液晶显示器的情况下，在形成在每个象素中的多个TFTs中，有些TFTs用做开关元件，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。