技术编号：6915008
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅片，是指硅片生产中在等离子真空镀膜设备中的硅片载体使用的挂具。背景技术在太阳能电池和半导体的硅片生产中，需要在硅片上沉积氮化硅。沉积氮化硅的工艺是将硅片盛入硅片载体上，再将硅片载体放入等离子真空镀膜设备内，再通入反应气体在真空高温中进行。各个硅片盛入硅片载体的各个孔位(如36孔，25孔)时，首先需要将挂具安装到硅片载体的框架上以支撑各个硅片。挂具包括挂钩和挡片两种，挂钩包括钩尖，每个硅片载体孔位通过多个挂钩的钩尖用来支撑硅片，挡片用来定位硅...
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