技术编号:6917306
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是涉及一种晶圆盒的转动开关装置,特别是涉及一种通过可转 动的抵接轴套与一闩锁板相抵接,以减少因刮削及磨擦而产生微粒污染的晶圆 盒的转动开关装置。背景技术为避免晶圆在运送过程中受到污染及碰撞, 一般会利用 一可运送及可密封的晶圆盒来放置及运送晶圆。举例而言,中国台湾专利公告第151739号揭示 一种具有改良闩机构的可密封、可运送容器,其具有一盒子及一盒门。盒子有 一第一密封表面,而盒门有一第二密封表面,当盒门以一对着盒子的密封方向 移动时,第二密封...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。