技术编号：6918850
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种洗边机，且特别是涉及一种洗边机的固定装置。 背景技术在半导体技术里， 一般会在晶片上形成多层的膜层。以镀层为例，如果 要在晶片上形成铜层，会先以化学电镀(无电电镀)法在晶片上全面形成一层铜层作为种子层(seed layer),再利用电镀法(有电电镀)，以种子层为基础镀 上铜。此时，因为晶片边缘作为有电电镀的通电路径，例如需连接至电极， 所以边缘的种子层不会往上长，因而在电镀完成时，会在晶片上的边缘留下 一圈较低的种子层。为了去除晶片的边缘...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。