技术编号：6920201
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及沿垂直于衬底的方向发射光的表面发光型发光元件的制造方法。此外，本发明涉及使用所述制造方法形成的、并且在驱动时可获得稳定的元件特性的表面发光型半导体激光器及其制造方法。而且，本发明涉及使用所述表面发光型半导体激光器的光模块和光传输装置。背景技术 表面发光型半导体激光器中具有代表性的表面发光型发光元件是可两维集成的发光元件，被期待用于高速并且大容量的光通信的光源等众多领域的应用。但是，成为高速驱动发光元件时的问题在于元件的寄生电容。例如，在表面发光型...
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