技术编号:6920982
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及 一 种磁盘驱动装置的放音磁头、磁随机存取存 储器的存储元件及磁传感器所使用的隧道磁阻薄膜(优选为自 旋阀型隧道磁阻薄膜)及磁性多层膜制作装置。背景技术在非专利文献1中公开了将非晶态的CoFeB作为强磁性电 极、将NaCl结构的MgO膜作为隧道势垒(tunnel barrier )层 的自旋阀型隧道》兹阻薄膜。该隧道磁阻薄膜4吏用CoFe层作为第 一磁化固定层,使用非晶态的CoFeB层作为第二磁化固定层。 于是,利用高温退火自非晶态的CoFeB结...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。