技术编号：6921054
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。如图4和5所示，衬底支架单元A包括在其最靠上部分处的 衬底台架l、在衬底台架下方的四个辐射板4、在辐射板4下方的两个反 射板5、以及在最靠下部分处的冷却板6。[t)018衬底3待布置在衬底台架1上。衬底台架1的上表面的中心形 成衬底布置部分7 (在该处待布置衬底3)。图4中所示的衬底3将由提 升销8 (后面将说明)提升和支承。在衬底支架单元A运动时，当衬底 台架1向上运动超出提升销8时，衬底3就会转移到衬底布置部分7上 并在其上布置，如图5所示。0019j...
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