技术编号:6922003
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。粘合的硅电极的清洁发明内容所提供的是一种清洁等离子体处理室的粘合电极组件的方法,该组件包含具有暴露于等离子体的硅表面的硅构件、支撑构 件以及该硅表面和该支撑构件之间的粘合材料。气孔贯穿该支撑构 件和》圭构4牛。该方法包含用清洁溶液4姿触该石圭表面。通过乂人由以下 各项组成的ia中选出来的方法,防止该清洁溶液石皮坏该支撑构件和/或粘合才才一+ y使用只4妄触该石圭表面的滚轴向该石圭表面施力口该清洁溶 -液;在向该石圭表面施加该清洁;容'液的同时对该支撑构4牛...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。