技术编号：6922067
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明首先涉及适用于有源矩阵型液晶显示等的薄膜半导体器件及其制造方法。此外本发明涉及应用了上述薄膜半导体器件的液晶显示装置和液晶显示装置的制造方法、电子设备、电子设备的制造方法。再有本发明涉及利用等离子化学汽相淀积法(PECVD)的薄膜淀积方法。背景技术 近年来，随着液晶显示(LCD)的大画面化和高清晰度化，其驱动方式从单纯的矩阵方式向有源矩阵方式发展，正在向能显示大容量的信息的方向发展。有源矩阵方式使得具有超过几十万象素的液晶显示成为可能，在每个象素中形...
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