技术编号:6922263
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种支撑部件以及安装有该支撑部件的托架。本申请基于2007年4月23日在日本申请的专利申请2007-113226号主 张优先权,在此引用其内容。背景技术在液晶显示器等的制造工艺中,需要对大型玻璃基板进行加热处理和成 膜处理等真空处理。因此,开发了各种各样的真空处理装置。其中之一就有 用于在液晶显示器的滤色片侧形成ITO膜(电极膜)的直列式溅射装置。该直列式溅射装置为制造出真空状态并通过溅射在玻璃基板上形成薄 膜的真空装置。而且,为了能够在装置内稳...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。