技术编号:6922788
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。具有搭桥晶粒结构的多晶硅薄膜晶体管 对其它申请的交叉引用要求美国临时申请60/929,338的优先权,在此并入其全部内容作为 参考。本申请涉及用来在玻璃衬底上形成高性能、高均匀性、和高可靠性 低温多晶薄膜器件的方法和系统。背景技术下列段落包括一些讨论,其通过本申请中公开的创新来阐明,并且 在这些段落中的实际的或被提议的或可能的方法的任何讨论并不意味 着那些方法是现有技术。例如在电视和计算机屏幕中使用的显示装置迅速发展成采用有源 矩阵驱动技术的高质量平板显示...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。