技术编号:6922805
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用作共振子、带通滤波器的弹性表面波装置;更详细 地,本发明涉及一种具有下述构造的弹性表面波装置,所述构造为采用了 填充于压电基板上的槽中的金属并形成了 IDT的构造。背景技术以往,弹性表面波装置广泛用作共振子、带通滤波器。例如,在下述 专利文献1中公开了一种弹性表面波装置1001,其具有如图30概略表示 的截面构造。在弹性表面波装置1001中,在LiTa03基板1002的上面1002a 上形成了多条槽1002。在多条槽1002b中填充金属,从...
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