导电性高分子上的抗蚀剂膜的剥离剂、抗蚀剂膜的剥离方法及具有已图案化的导电性高 ...的制作方法技术资料下载

技术编号:6922912

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本发明是关于导电性高分子上的抗蚀剂膜的剥离剂、抗蚀剂膜的剥离 方法及具有已图案化的导电性高分子的基板。背景技术近年,透明导电膜使用以I TO (氧化铟锡)作为成分,由于铟为稀 有元素,故正进行着以导电性高分子代替的研究。导电性高分子不仅导电性、光透过性、发光性优异,而且薄膜成膜性、 薄膜性、挠性也优异,从而持续进行着于电解电容器、防静电膜、高分子 EL、太阳能电池、透明导电膜等实用化的开发。例如,电解电容器的情况下,通过使用比该电解质的导电性更高的导 电性...
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