技术编号:6923173
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在不使用单独的预热过程的情况下通过由外部光源产生的光电荷的 感应加热制造结晶低浓度半导体薄膜的方法。 根据本发明的一个方面,本发明提供了,所述方法包 括以下步骤(a)在基片上形成低浓度半导体层;(b)通过用光照射所述低浓度半导体层, 生成光电荷;和(c)通过在所述低浓度半导体层上执行感应加热,使所述低浓度半导体层结晶。附图说明 图1是说明了用于通过使用通常的感应加热方法制造结晶半导体薄膜的过程的 视图; 图2是说明了根据本发明的一个实施方式的流程...
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