半导体装置及其制造方法、显示装置及其制造方法技术资料下载

技术编号:6923201

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具体地,本发明涉及配置有精细布置的薄膜半导体层的半导体 装置、用于制造该半导体装置的方法,还涉及包括该半导体装置的 显示装置以及用于制造该显示装置的方法。背景技术薄膜晶体管已经广泛地用作电子电路,尤其是,有源矩阵驱动 平板型显示装置的像素晶体管。近年来,人们已经注意到将有机材 料用于这种薄型半导体装置的半导体层。对于薄膜晶体管,其中,将有机材料用于半导体层,即,有机薄膜晶体管(有机薄膜晶体管 OTFT),与无机材料用于半导体层的配置相比较,可以在低温下形 ...
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