技术编号：6923341
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明，是关于用以测量进行物体移动的载台等可动构件的位置资讯的测量技术及载台技术、使用该载台技术进行物体的曝光的曝光技术、使用该曝光技术制造半导体元 件及液晶显示元件等的元件的元件制造技术。背景技术在制造半导体元件或液晶显示元件等的元件(电子元件、微型元件)的微影制程 中，主要是使用步进机等的静止曝光型(一次曝光型)的投影曝光装置、以及扫描步进机等 的扫描型的投影曝光装置(扫描型曝光装置)等的曝光装置，以将形成于标线片(或光罩 等)的电路图案通过投影光学系...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。