技术编号：6923346
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。体衬底上制造的被隔离的三栅极晶体管背景技术在集成电路器件的制造中，随着器件尺寸的持续减小，诸如三栅极晶体管的多栅极晶体管已经变得更流行。在常规工艺中，三栅极晶体管通常被制造在体硅衬底上，或被制 造在绝缘体上硅衬底上。在一些情况下，由于体硅衬底的成本低并且由于其使得三栅极制 造工艺的复杂度更小，所以体硅衬底是优选的。在其它情况下，由于三栅极晶体管的改善的 短沟道特性，所以绝缘体上硅衬底是优选的。 在体硅衬底上，三栅极晶体管的制造工艺经常在将金属栅电极的底部与...
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