技术编号：6923503
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空异常放电抑制装置，特别涉及为抑制在使用高频电源进行的等离子体生成中所发生的异常放电而切断高频电源的输出的真空装置用异常放电抑制装置，通过该异常放电的抑制，在使用等离子体的基板的成膜或者基板的腐蚀中，保护基板不受由于异常放电而造成的损伤。背景技术在半导体设备、液晶面板、盘等的制造过程中，有使用等离子体对这些基板进行处理的工序。在进行该等离子体处理的工序的装置中，从高频电源供给高频电力，使处理气体等离子体化，通过该等离子体对基板的表面进行成膜或者...
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